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- 是否全新：全新
- 复精度：+0.2 % F.S.
- 响应时间：s2 sec ≤10SLM
- 工作压差：(14.5~72.5 psid)
- 工作环境： 5°C~45°C
- 电源：+15V 50 mA; -15V 200
气体流量控制器XLRB-D07-19B气体流量控制器XLRB-D07-19B
质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于
对气体的质量流星进行测量;质量流量控制器
(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的
质量流量进行测量和控制。它们在半导体微电
子工业、te种材料研制、化学工业、石油工业、医
药、和真空等多种领域的科研和生产中有着重
要的应用。其典型的应用场合包括;电子工艺设
备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅
射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微
反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱
仪及其它析仪器。
( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,
流量规格
300,500) CCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) LM
2
准确度
士1 % F.. (20,30LM: +2
% F..)
+0.5 % F.. (20,30LM:
3
线性
+2 % F..J
4
复
+0.2 % F..
5
响应时间
s2 sec
≤10LM: 0.1 ~ 0.5 MPa
6
工作压差
(14.5~72.5 psid)
范
> 10LM: 0.1~ 0.3 MPa
(14.5~43.5 psid)
7
大工作
1 MPa
8
耐压
3 MPa (435.1 psig)
9
工作环境
5°C~45°C
温度
0V~+5.00V.
10
输入输出
(输入阻抗大于100K,输出电
号
流不大于3mA)
11
电源
+15V 50 mA; -15V 200
mA
12
外形尺寸
见图4
13
重量
0.95 kg
注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮
气(N2)定。
质量流量的单位规定为; CCM (准升/);
LM (准升/)
准状态规定为:温度--- 273.15K (0°C );
气压- 101325 Pa (760mm
Hg)，单位CCM
和"ml /min, 0°C,1atm”等同，单位LM和"L/
min, 0°C,1atm"等同。
F.. (Full cale):满量程值
气体流量控制器XLRB-D07-19B气体流量控制器XLRB-D07-19B气体流量控制器XLRB-D07-19B
