| MODEL | LSN-1510 | LSN-2010 | LSN-2515 | LSN-3020 | LSN-4030 | LSN-5030 |
| (X/Y/Z轴)量测行程(mm) | 150*100*100 | 200*100*175 | 250*150*175 | 300*200*175 | 400*300*175 | 500*300*175 |
| 外形尺寸 | 540x560x850 | 540x560x850 | 760x600x900 | 760x600x900 | 970x670x940 | 970x770x940 |
| 机台底座 | 高花岗石底座及立柱 | |||||
| 照明系统 | 表面光源与光源均用LED，亮度可调 | |||||
| CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | |||||
| X,Y轴量测 | （3+L/150）um | |||||
| 放大倍率 | Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：20--120X | |||||
| 光学尺解析度 | 1 um | |||||
| 重复性 | 2 um | |||||
| 操作方式 | 手动 | |||||
| 电源供给 | 110V/220V | |||||
| 合适温度，湿度 | 温度：19°--24°，湿度：45%--75% | |||||
| 保修期 | 一年 |
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