一、技术参数
行程范围：X轴------500 mm Y轴------600 mm Z轴------400 mm
结构型式：活动桥式
传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高空气轴承
长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
机台：高花岗岩平台
使用环境：温度(20&plun;2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m 温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m
机台承重：500 kg
整机重量：850
二、产品特点
1、整机设计采用单边活动桥式结构，该结构紧凑，大幅降低了活动框架的重量，显著了系统的运动性能，了测量及稳定性。
2、三轴导轨均采用天然花岗岩，使三轴具有相同的温度特性，测量过程中良好的温度稳定性及刚性。
3、三轴导轨均采用自洁式预载荷高空气轴承，使运动更平稳，导轨受磨损。
4、长度测量系统采用英国 RENISHAW 的自粘开放式金属光栅尺，使光栅尺与花岗岩基体的热膨胀系数接近，从而设备的稳定性。
5、控制系统采用英国 RENISHAW 的 UCCLITE高自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制。
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