高度仪
| 型号 | SEL—TVA300 | SEL—TVA600 | SEL—TVA1000 |
| 测量范围 | 0-300mm | 0-600mm | 0-1000mm |
| 应用范围 | 0-400mm | 0-700mm | 0-1100mm |
| 分辩率 | 0.01/0.001mm | 0.01/0.001mm | 0.01/0.001mm |
| 准确度 | 3+(Lmm/300)mm | 3+(Lmm/300)mm | 3+(Lmm/300)mm |
| 重复性 | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm |
| 测量系统( | Sylvac容栅 | Sylvac容栅 | Sylvac容栅 |






