技术参数：
1.电子：高亮度、方便维护的钨灯丝电子
2.分辨率:
二次电子:
高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV
高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项)
低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV
背散射电子:
4.0nm @ 30kV
3.加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调
4.探测器：E-T二次电子探测器，可选背散射探测器
5. 50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台
主要特点：
1.分子泵真空系统
2.高稳定性、高亮度钨灯丝电子，满足高分辨观察和微观分析的要求
3.FEI的LFD低真空二次电子探测器
4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统
5.基于Windows XP的图形用户界面, 简单易用
