WDK2010—Z 三坐标非接触式测量仪
一、非接触测量仪特点:
以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，金相组织，偏光等观察功能。所以对金线弧高、细微的间隙高低差、夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。
二、非接触测量仪用途：
适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构，几何形状进行显微观测。并且有三维的测量功能，其解析率达0.0005mm。因此是精密件，集成电路线宽，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的用仪器。
三、非接触测量仪主要规格：
1. 镜筒：铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转
2. 高眼点平场目镜: WF10X/22
3.平场复消色差物镜：(可根据使用需求选择不同倍率的物镜)
f=200mm用全平场复消色差物镜/MPlan APO | ||||||
物镜数据 |
| |||||
倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦点距离(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(μm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(μm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
4. 水平转换器：五孔转换器，可测量
5. 落射式照明系统：高亮度LED灯（5W）
6. 调焦结构：粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置，
粗动升降范围30mm，微动格值，0.001mm*100格，数显解析值 0.0005mm。
7. 光源：LED光源，1W，亮度可调
- Z轴升降范围：38mm以内，手轮转动130mm 允许工件 130mm，
导轨3+L/1000
X轴移动范围：200mm 解析率：0.001mm 可解锁手动快进，
Y轴移动范围：100mm 解析率：0.001mm 可解锁手动快进，
测量(3+L/100)um (L: 被测长度,um)
落射光测量误差≤0.08%
9.Z轴采用裂像法原理进行观察并测量，结合精密的Z轴导轨，可测量的准确度。
10.工作台尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作台承重: 30kg
11.仪器外型尺寸：380mm*550mm*830mm
12.净重：100kg 毛重：120kg
