基本信息
产品介绍 白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，尔大学友好合作伙伴。产品特点1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、数字信号处理器：实现测量需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、震、压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。技术参数
应用领域1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工附件水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等
| 品牌： | SNU | 型号： | SIS 2000 | 操作方式： | 自动 |
| 功能： | 检测、观察、分析 | ： | 1nm | ||
| 其它型号： | SIS 1200 |
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、数字信号处理器：实现测量需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、震、压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。技术参数
| 机型 | SIS 2000 | |
| 工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
| 倾斜度 | &plun;3 ° | |
| 测量行程 | X:200mm Y:200mm | |
| Z轴行程 | 100mm | |
| 运动方式 | 自动，马达驱动 | |
| 扫描速度 | 30μm/sec | |
| 垂直分辨率 | 0.1nm | |
| CCD | 黑白CCD， 640×480 像素 | |
| 物镜安装架 | 手动 5个位移的可定位夹具 | |
| 镜头选配 | 镜头：5×、10×、20×、50× |
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工附件水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等