| 仪器型号 | YVM-3020GT |
| 量测行程 | 300X200X200 |
| X,Y,Z,小显示值 | 0.0005 |
| 量测 | X,Y,AXIS:3+(L/200)UM |
| 重复 | 3UM |
| 测量方式 | 影像式 |
| CCD | 日本SONY43万象素彩色高清晰度摄影机 |
| 镜头 | 美国"NITAR"高清晰度0.7-4.5XZOOM变焦镜头 |
| 工作距离 | 115MM(影像) |
| 联想电脑 | "赛阳"4 CPU 160G硬盘 1G内存 17寸液晶显示器 |
| 测量软件 | YR-VT(可实现Z轴测量和平面度测量,并可接测针) |
| 升降立柱 | 花岗石立柱 |
| 仪器基座 | 000级高稳定性花岗石底座 |
| 照明 | 上光源采用八区段可调LED无影灯,下光源采用LED平行泠光源 |
| 外观尺寸 | 780X680X1200 |
| 仪器重量 | 200KG |
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