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紫外光刻机, 曝光机

产品价格：: 电议

产品型号：: pe700

供应商等级：: 免企业未认证

经营模式：: 贸易商

企业名称：: 哈尔滨特博科技有限公司

所属地区：: 黑龙江哈尔滨市

发布时间：: 2013/11/9 16:21:02

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产品名称：经济型台式光刻机

产地：美国

	名称	能力	数值
	基片台	X, Y方向运动距离	+/-0.25”(+/-6.5mm)
		Z方向运动距离	1500微米
		测微计	0.001”; 0.0001”
		刻度	0.01mm; 0.001mm
		旋转	+/-3.5°
	光罩	尺寸	5”×5” ~ 9”×9”
	光源	直径	8”
	对准1微米
	曝光强度可控能力+/-2%
	功率	200 ～
	尺寸	高940mm；宽788mm；深635mm；重量250磅

产品名称：高半自动光刻机

产地：美国

	能力	数值
	X, Y方向运动距离	+/-6.5mm
	Z方向运动距离	+/-1250微米
	运动增益	0.25微米，小可达0.1微米
	X, Y方向侧向偏离度	Z方向运动100微米偏离度小于0.1微米
	Theta;	+/-3°；0.001°
	卡盘找平	楔形补偿平衡系统
	光罩旋转	+/-15°
	光罩和基片间压力	可以自行设置
	光刻模式	靠近、软接、硬接和真空接触
	预对准能力	是
	精对准能力	小于1微米
	光罩尺寸	9”×9”
	光刻能力：	0.6微米（近紫外）；0.4微米（中紫外）；0.25微米（深紫外）
	适用样品尺寸	50 ～ 200mm

产品名称：高半自动光刻机

产地：美国

	能力	数值
	X, Y方向运动距离，	+/-6mm； 0.1微米
	Z方向	+/-0.5微米
	Theta;	+/-3°；0.001°
	光罩旋转	+/-15°
	控制方式	软件控制，多种工艺参数可自行设定
	卡盘移动控制	电子杆
	光刻模式	靠近、软接、硬接和真空接触
	预对准能力	X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°
	精对准能力	小于1微米
	光罩尺寸	14”×14”
	适用的样品尺寸	50 ～ 300mm
	光源选择	近紫外，中紫外和深紫外

联系方式

哈尔滨特博科技有限公司

联系人：: 李洪岩先生

手机：: 13613627346

传真：: 0451-51752136

所在地：: 黑龙江哈尔滨市

类型：: 贸易商

地址：: 哈尔滨道里区河鼓街副3号

服务热线

0451-51752136

QQ:1391291099

　

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