| 尺寸 | 500 x 750 x 650 mm |
| 重量 | 80Kg |
| 类型 | 自动 |
| 测量型号 | ≤ 4" |
| 测量方法 | 无连接的 |
| 测量原理 | 反射计 |
| 特征 | 测量迅速，操作简单 非接触式，非破坏方式 的重复性和再现性 2D/3D映射和造型 自动机械活动控制 电荷耦合器件照相机 自动调焦 |
| 活动范围 | 300mm x 300mm |
| 测量范围 | 100?~ 35?(Depends on Film Type) |
| 光斑尺寸 | 40?/20?,4?(option) |
| 测量速度 | 1~2 sec./site (fitting time) |
| 应用领域 | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Large Size Wafer Measure |
| 选择 | Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST) Anti-vibration table |
| 接物镜转换器 | Quintuple Revolving Nosepiecs |
| 焦点 | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
| 附带照明 | 12v 100W Halogen Lamp |
