- 品牌/商标：大塚電子 OTSUKA 大塚
- 企业类型：贸易商
- 新旧程度：全新
- 原产地：JAPAN
| 測定膜厚範囲 | サンプルサイズ | 光学系 | サンプル 供給方式 | 測定項目 | |
| 反射分光膜厚計 | |||||
| FE-3000 series | 1nm～1mm | 200mm×200nm 以上 | 顕微 | バッチ?連続*1 | 膜厚、屈折率、 消衰係数、 絶対反射率 |
| FE-300 | 10nm～1.5mm | 8インチウエハー | ファイバーレンズ | バッチ | |
| FE-3 | 0.8μm～1mm | - *2 | ファイバーレンズ | バッチ?連続 | |
| MCPD series | 0.8μm～1mm | - *2 | ファイバーレンズ | バッチ?連続 | *3 |
| 分光エリプソメータ | |||||
| FE-5000 series | 0.1nm～1μm | 100mm×100nm 以上 | エリプソメトリー | バッチ?連続*1 | エリプソメータ、膜厚、屈折 率、消衰係数、絶対反射率 |
| FE-5000S | 0.1nm～1μm | 100mm×100nm以下*4 | エリプソメトリー | バッチ | |
*2 対応するサンプルサイズは、仕様により異なります。
*3 上記測定項目に加え、他の用途にも応用できます。
*4 小サンプルについてはお問い合わせください。反射分光膜厚計 FE-3000 series薄膜から厚膜まで！
大型ステージなど高い拡張性有
| 膜厚レンジ | 1nm～1mm |
| 測定波長範囲 | 230nm～1600nm |
大型ステージなど高い拡張性能有
| 膜厚レンジ | 0.1nm～1μm |
| 測定波長範囲 | 250nm～2000nm |
簡単操作で高膜厚測定
| 膜厚レンジ | 10nm～1.5mm |
| 測定波長範囲 | 300nm～1600nm |
紫外から近赤外まで幅広く対応
| 膜厚レンジ | 0.1nm～1μm |
| 測定波長範囲 | 250nm～2000nm |
遠隔測定?多点測定
| 膜厚レンジ | 20nm～240μm |
| 測定波長範囲 | 430nm～1600nm |
| 膜厚レンジ | 0.8μm～1mm |
| 測定波長範囲 | 230nm～1600nm |
