灵敏度：CAMECA IMS 7f 工作是的有效离子产率(useful yields- secondary ion detected per atomsputtered)比四极杆分析器高达100倍。做通常的深度剖析或者成像分析，以获得同样灵敏度所用时间相比，是TOF类SIMS的千分之一。(或反过来说，同样的分析时间，TOF SIMS的灵敏度要低达1000倍)。
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