仪器简介：
技术参数：
主要特点：
S-3400N具有新开发的电子光学系统，具有更多的自动化功能，操作界面更友好。
技术参数：
| 项目 描述 |
| SE分辨率 3.0 nm (30 kV)，高真空模式 10 nm (3 kV)， 高真空模式 |
| BSE分辨率 4.0 nm (30 kV)，低真空模式 |
| 放大倍率 ×5～×300，000 |
| 加速电压 0.3～30 kV |
| 低真空范围 6～270 Pa |
| 样品尺寸 直径200 mm |
| 样品台 I型 II型 |
| X 0～80 mm 0～100 mm Y 0～40 mm 0～50 mm Z 5～35 mm 5～65 mm R 360º 360º T -20～+90º -20～+90º |
| 样品高度 35 mm (WD=10 mm) 80 mm (WD=10 mm) |
| 马达驱动 手动 五轴马达驱动 |
| 电子枪 预对中钨灯丝 |
| 物镜光栏 可移动式4孔物镜光栏 |
| 枪偏压 四阶梯度偏压 |
| 检测器 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
| 分析位置 WD=10 mm， TOA=35o |
| 控制 鼠标、键盘，手动旋钮 |
| 自自动调校 自动灯丝饱和、自动四偏压、自动枪对中、自动束流设定、 自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度 |
主要特点：
特点:
1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头，可在低加速电压下成像。
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品可达80mm。
5. 分析样品室可以同时安装EDS，WDS 及EBSD等附件。
6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效。
