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●图像分辨率（边缘分辨率） 2μm左右
●XPS灵敏度 大面积 11，800kcps / 110μmΦ 1，800kcps
27μmΦ 100kcps / (Ag3d5/2、450W）
●小分析直径（收谱分析） <15μmΦ
采用新开发的双模式分析器，从数秒至数十秒的时间内得到数μm以下的高分辨元素象、化学状态象，是真正的成象XPS。并且，若在图像上以鼠标点击指定分析位置，则无需移动样品，便可进行小至15μm微小区域的多点谱分析。配备新一代DLD检测器，可以超快速分析，实现收谱、成象、快拍（Snap Shot）功能。
