技术参数：
名义抽气速率注1 L/s 600
极 限 压 力注2 Pa 6×10-8
6×10-7
启动时间 min ≤7
振动 μm ≤0.1
噪 声 dB < 65
转速 rpm 36000
进气口通径 mm 160
出气口通径 mm 40
电源启动功率 W ≤500
电源消耗功率 W < 240
使用轴承 精密陶瓷轴承
冷却方式 水冷
安装方式 垂直
主要特点：
1.高极限真空
整体加工转子，加工、装配提高，转子强度得到提高，可运转于更高的工作转速，抽速、极限真空均得到提高。
2.大抽速
高压强区抽速进一步得到提高。
3.高可靠性
转子强度提高，重量进一步降低，采用陶瓷球轴承，分子泵的运转可靠性、寿命得到增强。
4.强抗冲击性
整体加工转子刚度得到提高。抗冲击、防大气突入能力进一步得到提高。
5.性能一致性
转子采用整体加工，克服了分片组装转子所不可避免的级间返流问题。减少了多个产品间性能的不一致性。
