Aerotech气浮平台

? 自1970年Aerotech开始研制性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。 Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：Dedicated to the Science of Motion。 ABRT超精密转台 1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计 2无刷无槽伺服电机直接驱动 3突出的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应） 4卓越的运动性能,误差小,无抖动 5直联高旋转编码器 6扁平结构设计 7无机械接触台面直径100-200mm 分辨率0.027-0.055arcsec 双向重复定位<1arcsec 定位 <2 arc sec 异步轴跳 <20nm 异步径跳 <20nm ARMS超精密模拟仿真转台 1. 为超高运动而设计。 2. 无刷力矩电机直接驱动，可选更高速度和力矩电机。 3. 突出的速度稳定性。 4. 卓越的运动性能，误差小，无抖动 5. 有效载荷达230 kg 6. 预装有集流环台面直径：146~260mm 反馈分辨率：0.02~4 arc sec 双向重复定位 0.5 arc sec 定位 2.5 arc sec 速度波动率 0.0001% ABRS超精密转台 ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度定位，卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。特点: 1. 无刷无槽力矩电机直接驱动 2. 卓越的速度稳定性（无齿槽效应） 3. 的运动性能，误差小，无抖动 4. 直连式高圆光栅反馈 5. 扁平结构设计 6. 气浮轴承，无机械接触台面直径：128~278mm 反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec 双向重复定位：<1arc sec 定位： 2 arc sec 异步轴跳： 20nm 异步径跳： 20nm ADR系列精密转台 ADR系列直接驱动转台提供的角度定位和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。特点： 1. 无刷力矩电机直接驱动 2. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性 3. 的运动性能，误差小，无抖动 4. 直连式高圆光栅反馈 5. 高机械轴承支撑 6. 载荷可达150kg 台面直径：57~240mm 反馈分辨率：0.036~13 arc sec 双向重复定位： 1arc sec 定位： 2 arc sec 轴跳： 0.5um 径跳： 1um AOM360D光电跟踪转台 AOM360D全方位定位装置能够提供的方位角和仰角值。级品质的电机，轴承和传感器组合而成的机架装置保证了整体的性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准，激光束指引，目标捕获及跟踪，照相机和光电望远镜的扫描和定位。特点： 1. 所有轴均可360度旋转 2. 超的定位和双向重复定位 3. 超低的轴向摆动及正交性 4. 无刷无槽力矩电机直接驱动 5. 高圆光栅反馈 6. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性 7. 热稳定性好于0.4 arc sec/摄氏度 8. 负载直径可达500mm，负载质量可达50kg 9. 可以用于真空环境负载直径193-485mm 负载质量 20~50kg 分辨率0.055arcsec 双向重复定位1arcsec 定位 2 arc sec 方位角摆动 3 arc sec 仰角摆动 5 arc sec Aerotech直驱机械轴承旋转平台 Aerotech ADRT直驱旋转平台 1.高扭矩输出，直驱无刷伺服电机 2.无接头设计，速度稳定性突出 3.突出的抖动和跳动性能 4.直联高旋转编码器 5.宽大的通孔直径直径 146 - 260 mm ±30 arc sec 负载 30 - 173 kg 相关文档 Aerotech ADRS直驱旋转平台 1.高扭矩输出，直驱无刷伺服电机 2.无接头无槽电机设计，速度稳定性突出 3.直联高旋转编码器 4.超低的外形将工作高度减到小直径 95 - 190 mm 6 arc sec 负载 16.9 - 56.2 lb 相关文档 Aerotech ARMS直驱旋转平台 1.设计来生成高运动 2.在全部360°范围都能达到0.0001%速度稳定性 3.定位分辨率0.02角秒 4.有效负载230 kg 5.完整的导电环和不固定的旋转管套节 6.可选直驱无刷电机以实现高转速和高扭矩输出孔径 8 mm - 25 mm 分辨率 0.02 - 2 arc sec ±2.5 arc sec 相关文档 AAerotech LAR直驱旋转平台 1.5种不同的孔径尺寸：100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 325 mm 2.持续或有限的行程 3.300-1000 lb的高轴向负载能力 4.宽大的轴承能提供较高的有效负载和瞬间负载能力 5.卓越的和重复定位 6.抖动和跳动小 7.无接头电机提供平滑运动 8.无回差效应 9.不随齿轮的磨损而改变 10.每分钟45-300转的持续转速 11.有效负载必须在旋转中心的应用的完美选择， AZ滚动万向架应用的重要选择 12.10-6 torr真空环境选项可选孔径 325 mm ±3.9 arc sec 负载 6463 N 相关文档 Aerotech ADR175/240直驱旋转平台 1.直驱无刷伺服电机 2.无接头设计，速度稳定性突出 3.突出的抖动和跳动性能 4.直联高旋转编码器 5.高角接触轴承直径 175 mm ±5 arc sec 负载 25 kg 直径 240 mm ±1 arc sec 负载 135 kg 相关文档 Aerotech ADR160直驱旋转平台 1.直驱无刷伺服电机 2.无接头设计，速度稳定性突出 3.突出的抖动和跳动性能 4.直联高旋转编码器 5.高角接触轴承直径 160 mm ±5 arc sec 负载 25 kg 相关文档 Aerotech ARA1000旋转执行器 1.高负荷传送能力 2.高刚性 3.直驱无刷无槽伺服电机 4.宽大的孔径 5.配置AVL1000很容易实现多轴的应用直径 342.9 mm ±2 arc sec 负载 45 kg 相关文档 ADR75直驱旋转平台 1.直驱无刷伺服电机 2.无接头设计，速度稳定性突出 3.突出的抖动和跳动性能 4.直联高旋转编码器 5.高角接触轴承直径 75 mm ±5 arc sec 负载 3 kg 相关文档 Aerotech ASR1000直驱旋转平台 1.高,动态性能好 2.方便产品进给和通过的大孔径 3.低惯量轴可以实现的加速度 4.优化包装设计使平台重量小 5.直驱无刷伺服电机 6.直联旋转编码器 7.高角接触轴承直径 19 mm ±15 arc sec 负载 3.0 kg 相关文档 Aerotech ASR1100直驱旋转平台 1.完整的气动套爪卡盘 2.ER16夹头接受0.5 mm to 10 mm外经的管 3.通孔适合产品进给和通过 4.有刻线的夹头保持器能快速更换刀具 5.常闭夹头配置 6.低惯量轴可以实现的加速度 7.直驱无刷电机和编码器 8.免维护,无摩擦旋转连接孔径 14 mm ±15 arc sec 负载 3 kg 相关文档 Aerotech ASR1200直驱旋转平台 1.ER16夹头可夹外经到到5.8 mm的管 2.集成的可更换O形圈的水套适合湿加工应用 3.通孔方便产品进给和通过 4.有刻线的夹头保持器能快速更换刀具 5.低惯量轴可以实现的加速度 6.直驱无刷电机和编码器 7.免维护,无摩擦旋转连接孔径 5.8 mm ±15 arc sec 负载 3 kg 相关文档 Aerotech ACS旋转平台 1.集成气动ER夹头和卡盘或3瓜卡盘. 2.通孔方便产品进给和通过 3.常闭或常开夹子选项 4.低惯量轴可以实现的加速度 5.直驱无刷电机和编码器 6.完整的旋转连接孔径 30 mm ±15 arc sec 负载 140 kg 相关文档 Aerotech ACS LP系列旋转平台 1.完整的气动ER套爪卡盘 2.通孔方便产品进给和通过 3.低惯量轴可以实现的加速度 4.完整的旋转连接 5.超低的外形将工作高度减到小孔径 30 mm ±6 arc sec 负载 41 kg 相关文档 ADRH直驱旋转平台 1.低外形适合对空间敏感的应用场合 2.直驱无刷无槽伺服电机 3.直联高旋转编码器直径 104.8 mm 分辨率 3.6 arc sec 转速 2500 rpm 相关文档 Aerotech ANT-20RA 旋转执行器 1.0.045角秒的分辨率 2.紧凑的结构设计 3.巨大的转角范围 4.非接触直接驱动 5.高转速和高分辨率 6.卓越的定位稳定性 7.免维护 8.20度的行程转角 ±10 arc sec 负载 2.5 kg 相关文档 WaferMax T 旋转平台 1.低外形适合对空间敏感的应用场合 2.直驱无刷无槽伺服电机 3.直联高旋转编码器 4.25毫米孔径 Aerotech 2轴气浮平台 Aerotech ABL1000气浮平台 1 专为高性能校准和装配应用设计 2 分辨率达2nm的直线编码器反馈 3 闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器) 4 全预加负载气浮导轨(空气轴承) 5 低噪音线性放大器 6 全部非接触设计行程 ≤150 mm ±0.20 um 重复定位 ±0.05 um 直线度 ±0.25 um 平面度 ±0.25 um Aerotech ABL3600气浮平台 1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计 2 双轴,大孔,开放式结构 3 非接触直线编码器反馈,高 4 双直线电机驱动X Y 轴 5 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 行程 ≤250 mm ±1 um 重复定位 ±0.20 um 直线度 ±0.50 um 平面度 ±1 um Aerotech ABL8000气浮平台 1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计 2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好 3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 4 行程达1米 5 直线编码器或激光干涉仪反馈 6 可集成包括花岗岩的XY子系统行程 ≤1000 mm ±0.50 um 重复定位 ±0.20 um 直线度 ±0.40 um 平面度 ±0.40 um Aerotech ABL9000气浮平台 1 世上性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合 2 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承) 3 行程达1.2米X1.2米 4 Y轴双直线电机驱动 5 直线编码器或激光干涉仪反馈 6 主动控制偏转行程 ≤1200 mm ±0.50 um 重复定位 ±0.10 um 直线度 ±0.50 um 平面度 ±0.50 um Aerotech AHL9000直线电机平台 1 专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计 2 扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承 3 行程达1.2米X1.2米 4 双直线电机驱动步进轴 5 直线编码器或激光干涉仪反馈行程 ≤350 mm ±1.0 um 重复定位 ±0.20 um 直线度 ±0.60 um 平面度 ±0.60 um Aerotech ABG10000气浮平台 1 气浮导轨实现超平滑运动 2 所有轴都预加载荷 3 下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动 3 行程达1 m x 1 m 4 非接触直线编码器(光栅) 5 可选Z 轴,隔振,机械底座和控制箱 6 适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高检测． Travel 行程 ≤1000 mm Accuracy ±2.0 um Load 负载 84 kg Aerotech FiberCouple 130平台 1 同一条导轨上两个运动平台 2 独立或并列运动 3 2.5nm分辨率 4 非接触直线电机驱动 5 交钥匙的配套驱动和控制系统 6 适合辅助轴 Aerotech VascuLathe ACS/ASR 1.直线平台与旋转平台的高度集成化 2.ER筒夹系统使材料箝位自动化 3.可选夹紧装置夹紧管 4 先进的控制系统结构 5.单或双主轴结构 6.可选择湿切割 7.拥有两项Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956 Aerotech LaserTurn 1.直线平台与旋转平台的高度集成化 2.气动3爪卡盘或ER筒夹 3.较大的通孔可以使产品通过 4.可选择在前后加工的平台 5.直接驱动直线和旋转电机技术 Aerotech PlanarHD气浮平台 1 2 m/s扫描速度和5g加速度的输出 2 快的转向和小的稳定时间 3 主动偏转控制 4 直线光栅或激光干涉仪反馈 5 行程1.2 m x 1.2 m 行程 ≤12 00 mm ±300 nm 重复定位 ±50 nm 分辨率 0.25 nm Aerotech APT 系列平转和倾斜组合转台 1 满足安全，国防建设和监测市场的需要 2 把先进的高精密机械与业界的控制技术结合在一起 3 惯性稳定 4 包含内置滑环，可连续旋转360 ° 5 高定位和速度性能 6 易于安装和系统集成的集成电路 7 低维护，高可靠性提供的拥有成本平转： 速度180 ° /秒，持续360 ° 倾斜： 速度180 ° /秒，范围为± 95 ° 位置分辨率：7.6弧秒定位： 120弧秒有效载荷： 35公斤 Aerotech AOM360D 1两轴均360°连续旋转 2轴定位和重复性高 3轴抖动小,正交性好 4直驱无刷伺服电机 5高感应反馈 6无嵌齿效应设计,突出的速度稳定性 7负载直径达500毫米 8真空兼容机型可选 分辨率.27μrad 孔径范围203.2mm-508.0mm 负载7.0kg-50.0kg