仪器简介：
技术参数：
主要配置：
涡轮分子泵（德国莱宝50型）
前级泵（美国瓦里安DS42型）
粗抽泵（英国爱德华RV12型）
校准漏孔 1只（有计量校验证书）
质谱分析室 1套（成都仪器厂）
控制电路 1套（成都仪器厂）
工控计算机 1台（研华牌）
喷枪、吸枪各一套
主要特点：
ZLS-26D/M 型氦质谱检漏仪是成都仪器厂开发的新一代氦质谱检漏仪器。
仪器采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有检漏方式程序控制、检漏数据存储、分析、统计、打印及自动寻峰等功能，具备高度的智能化程度。
技术参数：
1.微机系统控制
2.12寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换
3.自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能
4.动态清除本底
5.不同工件检漏曲线显示
6.检漏数据保存和打印功能
7.声讯报警，报警点可程序设置
主要技术参数：
1.仪器小可检漏率：优于5*10E-12Pam3/s
2.仪器可检漏率：2×10E-1Pam3/s
3.仪器的反应时间： 不大3s
4.仪器质谱室允许工作的压强：1×10E-2Pa
5.仪器测试口允许工作的压强：1000Pa
6.背压法检漏时间可调范围：5～30s
7.仪器的启动时间： 不大于5min
8.仪器的轮廓尺寸： 640×550×980 mm3
9.仪器的重量： 约75Kg
10.仪器使用电源：220V±10％，50Hz
主要配置：
涡轮分子泵（德国莱宝50型）
前级泵（美国瓦里安DS42型）
粗抽泵（英国爱德华RV12型）
校准漏孔 1只（有计量校验证书）
质谱分析室 1套（成都仪器厂）
控制电路 1套（成都仪器厂）
工控计算机 1台（研华牌）
喷枪、吸枪各一套
主要特点：
1.微机系统控制 ，
2.12寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换
3.自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能
4.动态清除本底
5.不同工件检漏曲线显示及记录
6.检漏数据保存和打印功能
7.声讯报警，报警点可程序设置