ZLS-26D/T型系列氦质谱检漏仪是全功能氦质谱检漏仪，有普通配置型、也有计算机控制配置型，有单口型、也有双口型，采用德国莱宝涡轮分子泵作主排气机，辅助系统采用英国爱德华机械泵排气，启动快（不到五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用逆扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测试口压强在50～1 Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10-1～2×10-12 Pa·m3/s。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率（也可以通过笔记本电脑控制并显示），且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m3/s、Torr·L/s、mbar·l/s、atm·cc/s）,读数方便,仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏发）、背压法检漏。
技术参数：
仪器的启动时间： 不大于5min
小可检漏率：优于5×10E-12Pa～m3/s (空气）
反应时间： 不大3s
质谱室允许工作的压强：1×10E-2Pa
测试口允许工作的压强：1000Pa
检漏自动切换点（检漏点）可调范国：40～10-1Pa
仪器的轮廓尺寸： 640*550*980 mm3
仪器的重量： 约75Kg
主要配置：
涡轮分子泵（德国莱宝50型）
前级泵（美国瓦里安WS42型）
粗抽泵（英国爱德华RV12型）
校准漏孔（有计量校验证书）
质谱分析室（成都仪器厂）
控制电路（成都仪器厂）
仪器的使用条件
境温度：＋5℃～＋35℃
环境相对湿度：50～80％
供电电源：220V＋22V，功率约为1.5Kw
仪器附近无强电磁场干扰
主要特点：
1.机内采用进口涡轮分子泵作主排气机。
2.启动快（少于五分钟即可使用）。
3.采用光柱和数码管直接显示漏率。
4.四种常用单位显示，读数方便.