保证分辨率 3.0nm（30kV） 放大倍数 5至300,000x 加速电压 0.3kV至30kV 电子枪 工厂预对中灯丝 聚光镜 变焦聚光镜 物镜 锥形物镜 样品台 全对中样品台 X-Y 125mm-100mm Z 5mm至80mm 旋转 360° 倾斜 －10°至＋90° 排气系统 DPx1，RPx1 排气系统 DPx1，RPx2
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
（高真空模式）
（低真空模式）
大样品室和马达驱动样品台
样品室对应样品的直径可达到200mm,5轴马达驱动确保了高效率的样品移动和观察。
操作窗口
直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用户
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造高效率的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。
同时显示两幅图像
画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。
微细结构测量
适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。
标准的全对中样品台，能收录三维照片
3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。
从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。
维护简便
工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。
