2.AT切型和平凸基片:
JJK采用AT切型的石英晶体基片,以保证晶控片(晶振片)本征频率的温度稳定性。JJK的石英晶体基片采用平凸设计,即晶片的一面是平面另一面是规定屈光度的凸面。平凸设计能够大幅度抑制主振动模以外的杂散振动模式,从而减少沉积速率和膜厚控制过程中可能发生的频率跳变现象。


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