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本CF系列超高真空挡板阀系列适用于超高真空系统中开断管路，其为气动驱动方式。CF系列超高真空挡板阀具有工作平稳，使用可靠、密封性能佳和寿命长等优点，是超高真空设备阀门之一。气动超高真空挡板阀是以压缩空气为动力开启或关闭阀板，在失去气源时，阀板将依靠弹簧力自动关闭。阀门的介质为空气及少数腐蚀性气体。
超高真空气动挡板阀特点
标准化、模块化设计，易于更换超高真空挡板阀及维修；
超高真空挡板阀便于清洁的设计；
轴封为波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；
阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；
CF系列超高真空挡板阀主要性能指标：
适用范围：1×10-6pa～1.2×105Pa
打开时阀板上的压差：≤1.2×105Pa任意方向
阀体和阀座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
建议首次维修前循环次数：200，000次
阀体烘烤温度：打开时≤200℃；关闭时≤150℃
安装位置：任意
电源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊规格可定做）
压缩空气（只适用于气动）：0.4～0.7MPa
阀门开闭时间（只适用于气动）：≤1s
阀门位置指示：带有启闭位置指示开关（磁性开关）
阀门重量、订货号：见上表
CF系列超高真空挡板阀外形尺寸气动驱动
超高真空挡板阀选配件
气动驱动阀门启闭位置指示开关（磁性开关），型号为D-A73。
