特点：
?价格低
?易操作
?磁控溅射头
?紧凑设计
?快速循环时间（典型为2-3分钟）
?可选碳丝蒸镀
?样品台高度可调
?快速换靶（标配为金/钯合金）
?合新的标准：包括机电互锁，以使用镀碳附件时溅射头断电
?耐用
SC7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用, SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控溅射头，带有易更换的圆片靶（标配为金/钯合金）。溅射头为方便的铰链式，并具有电互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能，以意外损坏。通过氩气针阀调整真空度，以改变等离子电流；气体注入系统可预设等离子放电。
备：推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵（E5005F），随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵，它的容量为50 l/m 或更优是重要的。
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