- 产品品牌：
- 美国ASGE 气体质量流量控制器
- 产品型号：
- 13HPC
美国ASGE质量流量控制器产品属性：
美国ASGE质量流量控制器详细说明：
一、基本性能
型号1FRC–17FRC
型号18FRC–19FRC
型号20FRC–24FRC
型号6HPC–16HPC
快速响应质量流量控制器
高压质量流量控制器
可选入口过滤器
无过滤器
无过滤器
控制压力范围
570 torr~1500 PSIG
570 torr~4500PSIG
操作温度范围
40°F ~150°F
流量
见三、选型指南
流量
流量的2%
满刻度±1% @标定状态下
重复
读数的±0.25%
响应时间
3秒钟
15秒钟
压力降
50 PSI差压
压力降
5 PSI差压
安装方式灵敏性
± 0.5% 满刻度2
入口和出口连接方式
1⁄4" compression3
1⁄2" NPT外螺纹5
1⁄4" compression3
泄漏程度
1 x 10-9 atm.scc/sec 氦气
尺寸(英寸)
5.48 x 1.48 x 5.024
5.68 x 1.75 x 5.824
7.00 x 3.30 x 7.9
4.92 x 1.00 x 5.054
重量 (大约)
2.5 lbs
3 lbs.
15 lbs.
1.5 lbs.
电气连接方式
15针D型插入式连接器
供电要求
+15 VDC@35mA
+15 VDC@350mA
+15 VDC@35mA
+15 VDC@215mA
-15 VDC@180mA
-15 VDC@350mA
-15 VDC@180mA
-15 VDC@15mA
流量输出信号
0–5 VDC,2000欧姆内(或较大)负荷
0–5 VDC,1000欧姆内(或较大)负荷
控制信号
0–5 VDC
1. 到2%设定点之内。响应时间指标是指在“软启动”解除情况。如果采用软启动, 响应时间会提高一个大约比表中响应时间要快4~5倍。所有模块发货时，
软启动为解除状态
4~5倍。所有模块发货时，软启动为解除状态。
2. 为表中所述的偏差
3. VCR®连接方式也可以，需要订货时指定。
4.该尺寸包含了compression连接端部连接器。
5. 1" 或 1 1⁄2" NPT 或 1⁄2", 3⁄4" 或 1" compression 连接方式也可以，需要订货时指定。
二、组成材料—气体质量流量控制器(所有型号)
接触气体金属部件:
316不锈钢
密封:
Viton®(Buna-N 或Kalrez®密封订货时指定)
