| 主要规格参数 |
| 传感器探头 | 15、30、50、100、230、300、400MHz或定制 |
| 扫描方式 | A-Scan：B-Scan：C-Scan：Multi-Scan：Bulk-Scan：LOBE：Q-BAM Tray-Scan：Zip Slice和3D：Thru-Scan |
| 扫描范围 | 0.25mm x 0.25mm ~ 330mm x 330mm，能放置2个JEDEC标准托盘。 |
| 设备尺寸 | 宽1.8m x 深0.76m x高1.5m或弯角设计。 |
| 设备重量 | 570Kg |
| 电力和环境要求 | 1、115V~240V单相，50/60 Hz，电流15安培，功率3KW； 2、环境温度在10~40℃，相对湿度：10%~85%。 |
| 扫描塔 | 独立稳定防震动扫描塔和机械装置。 |
| 扫描 | 1、X / Y方向扫描分辨率为±0.1μm，业界分辨率。 2、Z方向探头扫描分辨率为±5nm，业界分辨率。 |
| 扫描速度 | 1、标称1000mm/s，扫描平均速度高达710mm/s。 2、优的扫描速度控制和电子限速，速在1000mm/s，以确保马达始终工作在状态，以快速度得到的图像质量。 3、以18.21mm X 13.66mm的扫描尺寸及256 X256的扫描分辨率的情况下，若扫描速度为355.6mm/s，扫描时间为19秒，若为选择扫描速度508mm/s，则扫描时间仅为14秒。 |
