美国瓦里安检漏仪

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氦质谱检漏仪

1972 年由瓦里安公司首先在氦质谱检漏仪的设计中提出了逆流式的概念，使得目前的氦质谱检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。

瓦里安的发明之一，优点在于：

·极大的排气量

·前级耐压高达 18mbar

·压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量，对质量轻的气体更为显著。

VＳ系列氦质谱检漏仪

特性及优点

性能指标	PR02	MR15&MD30
性能	前级泵内置式	前级泵外置式及小车
前级泵油式机械泵	DS-42 2 m³/hr (34 l/m)	DS-302 14 m³/hr (232 l/m)
涡卷式干泵	N/A	TS-620 30 m³/hr (500 l/m)
小可检漏率在1000ppm的氦气背景下	5×10^-12atm cc/sec； 5×10^-12mbar l/s；5×10^-13Pa m³/sec helium
测试口耐压	16 mbar，12 Torr，1600 Pa
测试口处对氦气抽速	1.8 l/s
校准程序	自动或手动（内置或外置）
氦本底清零	按键清零，并具有零点追踪功能
操作界面	高清晰彩显，TFT触摸屏
语言选择	中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测	可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点
响应时间	＜1.0秒
设定点	标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点
通讯协议	RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口）
执行标准	UL，CE，CSA