苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司
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工作原理：
空气通过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。
主要特点：
1、能准确的使石墨舟承载装片车定位；
2、采用不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
3、采用GK系列高效空气过滤器3只；
4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度；
5、净化风机噪音小于50dB。
6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。
