成都嘉腾仪器仪表有限公司
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| 工作台 | 金属台面尺寸(mm) | 760×640 | 800×550 | 800×800 | 750×1000 | 1140×1360 | 1340×1660 | |||||||||
| 玻璃台面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | 650×650 | 650×850 | 1050×1250 | 1250×1550 | ||||||||||
| 运动行程(mm) | 500×300 | 600×400 | 600×600 | 600×800 | 1000×1200 | 1200×1500 | ||||||||||
| Z轴升降行程 | 200mm | |||||||||||||||
| 工作距离 | 92mm | |||||||||||||||
| X、Y、Z数显解析度 | 1μm | |||||||||||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤(3+L/200)μm | |||||||||||||||
| 影像系统 |
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| 测量系统 | Mclns全自动测量软件 | |||||||||||||||
