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由于薄膜的特殊性，一般的激光传感器不能检测他的厚度。目前国际上通用的薄膜厚度检测方法是用单极性ZCS1100或双极性ZNXsensor电容式位移传感器组成薄膜厚度测量仪。两个传感器的板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；具有纳米级分辨率，且不受电磁感应导致的信号滞后影响（零磁滞）。
薄膜厚度测量仪主要应用领域：压电微位移、薄膜厚度检测、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
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主要技术指标：
量程：20~1250um；
分辨率<0.1nm；零磁滞；
线性度0.02%；
频带可调范围：50~5000Hz；
灵敏度可调；
真空兼容选项。
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