电容式硅片厚度测量方案

产品价格：: 电议

产品型号：: 电容式位移传感器

供应商等级：: 免企业未认证

经营模式：: 工厂

企业名称：: 广州净原环保科技有限公司

所属地区：: 广东省

发布时间：: 2011/6/21 13:40:39

86 020 37355630 15202084222

刘莉女士(联系我时，请说明是在维库仪器仪表网看到的，谢谢)

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企业档案

广州净原环保科技有限公司

免企业未认证证营业执照未上传

经营模式：工厂

所在地：广东省

主营产品：环保产品;化工产品;水质快速测定仪;水质快速测试盒;水质采样器;污泥采样器;石油采样器;底部采样器;过滤器;PH计;电导率仪;技术服务及咨询;

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类型	MTI	品牌	MTI电容
型号	电容式位移传感器	测量	0.1um

性价比电容式硅片厚度测量发方案，详情联系，姚先生

MTI AS-9000 纳米级超高电容式传感器
高分辨率：纳米级响应频率：5KHz

特性： AS-9000是具有超高、稳定性、重复性和分辨率的电容式传感器。其反应速度快，噪声干扰小，是检测转轴、磁盘、轮胎及晶圆的理想选择。 AS-9000价格经济、功能超强！ AS-9000能对极难检测的微小物体进行检测，且检测能力好上40倍。 AS-9000具备纳米分辨率,他重量轻、体积小、可随身携带，操作快速简便。		详细资料:
欢迎进入：https://www.mtiinstruments.com 其它重要特性： ■探头感应输出1uin/mV ■较大间隙距离安全检测 ■非接触良好检测性能 ■被动式电容探头具有特别的温度稳定性 ■准时、在线检测至5kHzAS-9000能与所有规格的探头配合使用。单信道模式适合简单的位移及震动检测，双信道模式适合厚度及要求较高的检测。两种模式都能快速、简洁的提供仿真/数字系统、探头位移曲线图显示器、位置偏移/校正系统]自动电源开关。双信道模式还能提供总数值输出或不同数值输出。应用范围： AS-9000适于半导体、磁盘驱动器、机械用具、电子工业 ●位移、●厚度、●同轴度、●振动、●尺寸大小、●平坦度、 ●内外径、●发动机动能放大器规格：直线性： +/-0.05% (10% ～ 100% 满量程或更好)；+/-0.1% （10% ～120%满量程或更好）信号输出： BNC接口输出0～10Vdc的电压信号补偿范围：允许-10V～0Vdc的标准信号输出输出电压稳定性： 0.002%满量程或更小；尺寸：长：9.5in(24cm) 宽：6.25in(16cm) 高：2.0in(5cm) 重：4lb(1.8 kg) 响应频率：标准值500 Hz,更换滤波器可达10Hz,1kHz,2kHz及5kHz等温度稳定性（30分钟暖机）： 16～35℃时，漂移小于+/-0.1%满量程； 4～40℃时，漂移小于+/-0.1%满量程电源： 85～265VAC, 47～440Hz 条形图感度： 1 bar/V 求和/求差值输出：标准为-（A+B）/2 ；通过跳线设置可选择（A+B），（A-B），-（A+B）和（A+B）/2

标准探头规格：(单位：mm)

量程（mm）	感测直径	型号	长度 ±0.762	探头直径 ±0.0254	型号	长度 ±0.762	探头直径 ±0.0254
0.0254 0.0508 0.127 0.254 0.508 1.270	1.0693 1.5392 2.4689 3.5204 5.0038 7.9553	ASP-1-CTA ASP-2-CTA ASP-5-CTA ASP-10-CTA ASP-20-CTA ASP-50-CTA	63.5 63.5 63.5 63.5 63.5 63.5	0.250 0.250 0.250 0.250 0.437 0.625	ASP-1-ILA ASP-2-ILA ASP-5-ILA ASP-10-ILA ASP-20-ILA ASP-50-ILA	9.525 9.525 9.525 9.525 9.525 9.525	2.3622 2.8448 3.9624 5.5626 7.9248 13.8684
量程（mm）	感测直径	型号	长度 ±0.762	探头直径 ±0.0254	型号	长度 ±0.762	探头直径 ±0.0254
0.0254 0.0508 0.127 0.254 0.508 1.270	1.0693 1.5392 2.4689 3.5204 5.0038 7.9553	ASP-1-ILR ASP-2-ILR ASP-5-ILR ASP-10-ILR ASP-20-ILR ASP-50-ILR	9.525 9.525 9.525 9.525 9.525 9.525	2.3622 2.8448 3.9624 5.5626 7.9248 13.8684	ASP-1-PCR ASP-2-PCR ASP-5-PCR ASP-10-PCR ASP-20-PCR ASP-50-PCR	2.54 2.54 2.54 2.54 2.54 2.54	2.3622 2.8448 3.9624 5.5626 7.9248 13.8684

温度范围：
标准探头： -129℃～204℃
高温探头： -129℃～760℃
： +/-0.1% 满量程
电缆长度：标准电缆长度为2.7米，可以定制其他规格
压力范围：
标准-200psig
高压-20000psig附：电容位移传感器的分辨率（resolution）计算方法感度（sensitivity）=量程（range）/10V(full scale voltage)
噪音=1mv*开更号（Fr/500)(Fr为所选择的滤波器频率 )
分辨率(resolution)=感度（sensitivity）×噪音(noise)注意：Fr的选择要稍大于被测物实际振动频率

滤波器频率(Frequency Response filter)	噪音(Noise in mVp-p)
10HZ	0.150mv
50HZ	0.316mv
100HZ	0.447mv
500HZ	1.000mv
1KHZ	1.400mv
2KHZ	2.000mv
5KHZ	3.200mv
10KHZ	4.500mv
20KHZ	6.300mv