Kosaka ET4000探针式轮廓仪
ET4000具有高性、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著了仪器的重复，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置，通过选配三维成像附件套装还可以大地扩充仪器的功能。 主要特点：1. 具有的台阶高度重复性5? (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；2. 高分辨率，纵轴分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可测量纳米级至几百台阶高度；3. 直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料； 
5. 即时监控系统：配置标准CCD，可即时监控量测位置；还可选购Top View CCD，进行高定位量测； 
6. 可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件，观察样品全貌和测定台阶移动量； 
7. 采用天然金刚石(R2μm)作为探头，经久耐用； 产品参数：
型号 | ET | ET | ET | |
样品尺寸 | 300x | 210x | 300x | |
样品台 | 尺寸 | 320x | 220x | 540x |
X轴倾斜度 | ±1mm/150mm(机动倾斜） | |||
Y轴倾斜度 | —— | ±1mm/150mm(机动倾斜） | ||
承重 | ||||
检出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节 | ||
范围 | 100μm | |||
驱动 | LVDT直动式（差动变压器） | |||
触针 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) | ||
X轴 | 测长 | |||
直线度 | 0.005μm/ | |||
速度 | 0.005 | |||
重复性 | ±5μm（定位） | |||
Y轴 | 测长 | —— | ||
直线度 | —— | 5μm/ | ||
重复性 | —— | ±5μm（定位） | ||
Z轴 | 测长 | |||
放大倍数 | 垂直 | |||
水平 | 1-10000 | |||
3D | —— | 可选择 | ||
θ轴 | —— | 可选择 | ||
辅助功能 | 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 | |||
监控系统 | 摄像装置 | 1/2 inch CCD (768x494像素） | ||
装置 | 视频捕捉板 | |||
应用 | 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 | |||
重复性 | 1σ0.5nm | |||
电源 | AC100V 800VA | |||
外观尺寸 | W660xD580xH | W930xD930xH | ||
