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方便快捷,经久耐用。
非接触测量,不会对产品表面造成破坏。
可消除在别粗糙度测量时,测尖无法进入谷底而带来的测量误 差,特别适用于对超精后工件表面粗糙度的测量。
非机械测量,不会有探针的损耗,降低了使用成本。
可靠性、重复性高。
采用数值标定,同一类平面只需标定,不需要重复标定,降低了标定成本,并且提高生产效率。
由于激光的相干性好,测量系统结构简单,免去了一般光源干涉测量仪器视场过小带来的诸多不便。
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