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| 品牌 | 美国mks | 型号 | DELTA流量比例控制器 |
| 测量范围 | 500SCCM到1000SCCM | 测量 | 5% |
| 产品适用范围 | 各种气体 |
大连瑞闻科技有限公司为您提供、高质量美国MKS流量测量和控制产品！
DELTA 流量比例控制器能够是您获得的工艺性能，它具有以下显著特点：
1、广泛用于需要不同流量的分离设备，如刻蚀、去胶和PECVD等，可将目的气体按照设定比例输送到同一反应器的不同区域.
2、大量程范围的流量（500/500sccm到10,000/10,000sccm）可供选择.
3、该设备在工作中保持一个低于大气压的管道压力，因而通常不需要特殊的防漏措施。
