| 品牌 | 日本西格玛光机 | 型号 | SGSP20-35(XY) |
| X轴 | 10 | 15 | 0.5 | 30 （3kgf） | 0.01 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | SGSP15-10(X) |     | |
| XY轴 | 10 | 15 | 1 | 20 （2kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP15-10(XY) | | |
| Z轴 | 10 | 15 | 1.1 | 5 （0.5kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP15-10(Z) | | |
| プレート | － | － | － | － | － | － | － | － | － | SG15-M4 | | |
| X轴 | 20 | 15 | 0.5 | 50 （5kgf） | 0.01 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | SGSP20-20(X) | | |
| XY轴 | 20 | 15 | 1 | 40 （4kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP20-20(XY) | | |
| Z轴 | 20 | 15 | 1.1 | 10 （1kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP20-20(Z) | | |
| X轴 | 35 | 25 | 0.7 | 80 （8kgf） | 0.005 | 0.003 | 0.003 | 0.005 | 0.005 | SGSP20-35(X) | | |
| X轴 | 85 | 25 | 1 | 80 （8kgf） | 0.007 | 0.003 | 0.003 | 0.005 | 0.005 | SGSP20-85(X) | | |
| XY轴 | 35 | 25 | 1.4 | 70 （7kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP20-35(XY) | | |
| XY轴 | 85 | 25 | 2 | 70 （7kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP20-85(XY) | | |
| Z轴 | 35 | 25 | 1.5 | 30 （3kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP20-35(Z) | | |
| Z轴 | 85 | 25 | 1.8 | 30 （3kgf） | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | 准确值随安装条件等因素而变化。 | SGSP20-85(Z) | |
