北京利方达真空技术有限责任公司
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北京利方达真空技术有限责任公司
免企业未认证证营业执照未上传
经营模式：工厂
所在地：北京
主营产品：超高排气台;真空炉;镀膜机;空间滤波器;椭偏仪;真空泵;等离子束溅射镀膜;电子枪;射频电源;全光谱光学膜厚监测仪;磁控溅射阴极靶及溅射靶材;真空计;检漏仪;四极质谱;真空阀门;
| 品牌 | maxtek | 型号 | mdc360c |
MDC-360C型膜厚控制仪
主要特性
? 可同时六个探头进行监测，探头/晶片的自动转换
? 编程菜单更具有易用性
? 16路输入和输出使得系统更易实现自动化
? 可以储存多达99种工艺过程，999种定义膜层和32种完整定义的材料
? 可支持6路源输出
? 多重速率爬升
? 中止过程的自动恢复功能
? 内置材料数据库
? 可命名的工艺过程、材料和输出，易于识别
技术指标
? 频率分辨率 在6.0 MHz时0.03 Hz
? 质量分辨率 0.375 ng/cm2
? 感应晶片频率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
? 膜厚显示 0.000～999.9 K?
? 成膜速率 00.0～999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
? 膜层数量 1～999
? 图形显示 256×64 LCD，CCFL背景照明
