| 品牌 | 日本大塚OTSUKA | 型号 | IG-2000 |
| 用途 | 工业气体分析装置 |
備有多種光學路徑長度的氣體腔（1cm～10m），可輕鬆更換，支援不同樣品。除各種光長度的氣體腔，另備有1cm+4.2m的組合式雙氣體腔。以簡單的切換操作，可在濃度差異極大的環境進行量測。配備標準的高感度、高反應常溫DLaTGS檢測器。無須液態氮，即可在低波數領域到高波數領域之間進行量測。溫度壓力補正、溫度變化圖、光譜解析、多國語顯示等，並配備有危險警示等功能齊全的人性化軟體。內建標準氣體資料庫。可且高進行定性、定量解析，並依照需求隨時可提供資料庫的更新。可搭載台車以移動方式監控，也可與配管搭配連結多點監控尾氣處理設備的效率評價。單點7秒間隔的量測，同時解析約20種不同成分氣體。
工業用氣體微量水份分析儀 IG-1000V
| 定性、定量分析 |
| 光譜分析 |
■半導體、光電產業研發&製程，微機電系統（MEMS）
? 計算從製程中所釋放出的PFCs（Perfluoro compounds）氣體的分解效率及排出量
? 尾氣處理設備的效能評價
? 多成分氣體的即時監控
? 分析腐蝕性氣體中的微量水分及微雜質成份
| 液態氮冷卻型M檢測器 | 室溫DLaTGS檢測器 | 電子冷卻型InAs檢測器 | |
| 量測波數範圍 | 600 ~ 5000 cm-1 | 600 ~ 5000 cm-1 | 3500 ~ 5000 cm-1 |
| 干涉儀 | 邁克森干涉儀（Michelson Interferometer） | ||
| 解析能力 | 0.5 ~ 32 cm-1 | ||
| 真空功能 | 無 | ||
| 氣體腔規格 | 可換式 | ||
| 氣體腔光長度 | 1cm, 10cm, 2m, 4.2m, 10m | ||
| 尺寸* | 460（W）×460（D）×478（H）mm | ||
| 重量* | 約30kg | ||
■C2F6氣體在CVD真空槽內的潔淨效率
■氣體腔 （1cm,10cm,2m,4.2m,10m）
■組合式雙氣體腔 （1cm+4.2m）
■壓力轉換器
■氣體腔增溫器
■氣體腔封蓋
■局部排氣箱
■進排氣切換組件
■真空幫浦（IG-1000V用）
■隔膜幫浦
