| 品牌 | 鑫瑞 | 型号 | SK5530A |
u 重合：&plun;2μm
u X Y线性：&plun;(3+L/100)μm
u Z线性：&plun;(2.5+L/100)μm
u 测量范围：300*200*100mm
u 位移解析：0.4μm
u 位移驱动：0.1μm
u 放大倍率：35－225X
u 光学成像：CCD优质成像方式（技术）
u 运动控制：伺服控制模式（技术）
u 用户文件：《仪器校准证书》
u 取边速度：3ms／per
u 平台尺寸：612×413mm
武汉峥嵘自动化公司
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