| 类型 | 光学显微镜 | 品牌 | zeta |
| 型号 | zeta 20 | 仪器放大倍数 | 5x---100x |
| 目镜放大倍数 | 5x---100x | 物镜放大倍数 | 5x---100x |
| 适用范围 | 更快速地对LED/PSS、太阳能电池、微流体导管等样品表面进行成像分析 |
Zeta光学显微镜
三维成像及测量系统
- · 样本本色三维成像
- · 台阶高度，线、面粗糙度，角度和尺寸测量
- · 高粗糙度、低反射率样品的测量
- · 深槽和其它高纵横比面形貌特征的成像
- · 薄膜厚度测量和DIC功能选项
- · 多功能、操作简便的应用软件
由位于美国硅谷的Zeta仪器公司研制，Zeta 20 是一个集多种测量手段于一身的精密光学仪器。它体积小，，使用方便，是解决用户三维成像和测量问题的工具。与市场上售价昂贵的同类产品相比，ZETA 20的三维成像技术能够更准确，更快速地对LED/PSS、太阳能电池、微流体导管等样品表面进行成像分析。非接触式测量加上维护成本使得Zeta 20成为三维测量系统中性能价格比优的解决方案。
应用实例
1. LED/PSS（图形化蓝宝石基板） 高度、尺寸和间距的自动测量；蚀刻前后的基板表面测量
2.太阳能电池 AR薄膜厚度监控；HDR成像使得同时测量高反射率的栅线与低反射率的氮化硅成为可能
3.生物科技/微流体 大视场三维成像；高纵横比深槽和其它复杂表面形貌特征的测量
4.精密研磨 钻石抛光垫等粗糙表面的成像和测量
典型系统配置
显微镜系统
光源：高亮度白光LED
物镜：5x，10x，20x，50x，100x
耦合镜：0.5x
手动载物台：100mm x 100mm XY驱动范围
Z轴：30mm纵向驱动范围
数码相机：1024x768像素，1/3英寸CCD
计算机控制系统
CPU：英特尔®酷睿2双核处理器
内存：3GB
硬盘：320GB
显示器：22英寸宽屏LCD（1680x1050像素）
