- 品牌/商标：AST
- 企业类型：贸易商
- 新旧程度：全新
- 原产地：美国
产品特点：
● 易于安装
● 基于视窗结构的软件，很容易操作
● 先进的光学设计，以确保能发挥出的系统性能
● 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度
● 高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内
● 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
● 多可测量12层薄膜的厚度及折射率
● 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数
● 系统配备大量的光学常数数据及数据库
● 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析
● 三种不同水平的用户控制模式：模式、系统服务模式及初级用户模式
● 灵活的模式可用于各种独特的设置和光学模型测试
● 健全的一键按钮(Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案
● 用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量
● 系统有着全自动的计算功能及初始化功能
● 无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行的校准
● 可精密的调节高度及倾斜度
● 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
● 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求
● 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
● 可用于微观区域选项的数字成像工具
● 对整个小区域可进行反射测量的整体式反射计
系统配置：
● 型号：SE200BA-MSP-M300
● 探测器：阵列探测器
● 光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
● 指示角度变化：可编程设定，自动可调
● 平台：ρ-θ配置的自动成像
● 软件：TFProbe 3.2版本的软件
● 整合了SE和MSP系列的优点
● 计算机：Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器
● 电源：110–240V AC/50-60Hz，6A
● 保修：一年的整机及零备件保修
基本参数：
● 波长范围：250nm到1000 nm
● 波长分辨率: 1nm
● 光斑尺寸：1mm至5mm可变
● 入射角范围：10到90度
● 入射角变化分辨率：0.01度
● 数字成像像素：130万
● 有效放大倍数：1200×
● 长物镜工作距离：12mm
● MSP光速尺寸：2-500μm可调
● 样品尺寸：直径为300mm
● 基板尺寸：多可至20毫米厚
● 测量厚度范围*：0nm?10μm
● 测量时间：约1秒/位置点
● 度*：优于0.25％
● 重复性误差*：小于1 ?
应用领域： ?
● 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
● 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
● 医学，生物薄膜及材料领域等
● 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
● 医药，中间设备
● 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
● 半导体化合物
● 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
● 非晶体，纳米材料和结晶硅
产品可选项：
● 用于反射的光度测量或透射测量
● 用于测量小区域的微小光斑
● 高分辨率数字摄像头
● 用于MSP的超长物镜
● X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)
● 加热/致冷平台
● 样品垂直安装角度计
● 波长可扩展到远DUV或IR范围
● 扫描单色仪的配置
