INFICON UL1000型高灵敏度氦检漏仪:
INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件检漏的要求，灵测试，高灵敏度，快速于的结果，快速启动，移动性和系统的性。合做微电子工业市场的要求。
一、产品应用：
1、半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵
2、元器件在组装前的漏率测试
3、工艺气体系统的检测与安装
4、要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
二、特：
1、坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，还有I-CAL（智能化漏率计算系统）,的 噪声抑制滤波，柔性均值算法和漂移抑制功能。
2、可调用氦气或工艺气体污染的保护。
3、用于消除在10-11至10-12灵敏漏率范围中长时间平衡的程序。
4、系统软件包含带有故障查找指令的自诊断程序。
5、UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。
6、涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。
三、技术参数：
| 小可检漏率（按S2.1和EN1518S标准） | 〈 5*10-13帕·米3/秒 〈 5*10-12毫巴·升/秒 |
| 小可检漏率（吸入器模式） | 〈 1*10-8帕·米3/秒 〈 1*10-7毫巴·升/秒 |
| 入口压强 GROSS、FINE、ULTRA | 1500帕、100帕、10帕 |
| 抽速在抽空过程中 入口处的氦抽速（EN1518） | 16米3/小时 2.2-4升/秒 |
| 检漏盒尺寸 | ￠ 100*50MM |
| 完成检漏周期的时间(使用标准尺寸的空检漏盒) | 〈 6秒（漏率为10-10帕·米3/秒 |
| 可检质量数 | 2，3，4amu 氢，3氦，氦 |
| 电源电压 | 110-120伏；220-240伏 |
| 重量 | 110KG；242磅 |
| 尺寸，包括手把（长*宽*高） | 1068*525*850MM |
