- 原产地：IPHONE5烟台微波
CMS系列试验/实验用微波真空高温管式炉专门设计用于高温工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，进口优质微波源加热，优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空，气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制，设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
一、试验/实验用微波真空高温管式炉技术指标：
设 备 型 号 | NT-CVD(G)-08/50/1 |
温区温度 | 1650℃；(长恒温时间：≥10小时)； |
加热有效容积 | Φ72（内经）×500mm;恒温区尺寸：Φ72（内经）×250mm |
炉管实际尺寸 | Φ80（外径）×1400mm （国产优质刚玉管） |
炉 膛 材 料 | 氧化铝纤维制品 |
控制温区点数 | 1个，1支B分度热偶 |
设备温场温差 | ±1℃ ，日本岛电进口40段程序控制仪表(1只) |
加 热 元 件 | 优质进口微波源 |
加热功率 | 4Kw |
保 温 功 率 | 1kw |
升温速率 | 10℃∽120℃/min; |
降温速率 | 3℃∽7℃/min |
温度均匀性 | ±3℃(有效范围：Φ72×250mm) |
气路配件材料 | 气路配件材料，端头不锈钢发兰密封，一路气体采用浮子流量计控制,所有管道和阀门采用不锈钢元件 |
极 限 真 空 | ≤10Pa（常温） ,机械泵（配电磁阀）。 |
压升率 | ≤5Pa/h |
