产品简介：
该MicroSpy型产品是一款用于物体表面2D或3D的非接触式测量的，且物美价廉的单传感器光学表面形貌仪。该设备不可用于研发部门，同样也可以用于技术、汽车、半导体、PV、微机电、光学等工业生产控制中。
测量原理：
MicroSpy表面形貌仪使用色差来判断距离（chromatic distance measurement）的测量原理。通过一个对波长很敏感的焦距测量头，设备将白光聚焦于待测物体表面。物体表面散射光的光谱在分光计上产生一个峰值，然后该波长的峰值就被用于检测样品表面的高度。该测量设备可以用于检测透明性、高反射性甚至是吸光性材料的表面形貌。
基本参数：
● 测量系统参数：
测量原理：干涉法测量/反射法测量
系统设计：显微镜配合X、Y方向平台，干涉或反射传感器，带照明的面阵CCD
样品定位：精密的145mm×145mm的可电动调节平台，移动范围50mm×50mm(X、Y)
镜头调节：手动的粗调加细调的调节方式，上下调节的范围为80mm
仪器尺寸：58cm×25cm×40cm(高，宽，长)
整机重量：20Kg
供电电源：100－240V，50-60Hz，220W
● 薄膜厚度传感器选择：
FTR VIS FTR NIR FTR VIS/NIR FTR UV/VIS FTR UV/VIS/NIR
测量范围： 50-20μm 70-70μm 50-100μm 10-20μm 10-70μm
膜厚分辨率： 1nm
横向分辨率： 不使用额外光学器件200μm-800μm (使用额外光学器件10μm)
测量角度： 90o±5o
工作距离：约5mm
波长范围： 400-850nm 650-1100nm 400-1100nm 250-850nm 250-1100nm
光 源： 卤素灯 卤素灯 卤素灯 氘灯 氘灯
● 标准膜厚传感器选择：
CWL FT 10μm3 CWL FT 10μm3 CWL IR 500 CWL IR 1000
测量范围： 3-8μm 3-8μm 34-1900μm 60-3500μm
膜厚分辨率： 10nm 10nm 100nm 100nm
横向分辨率： 5μm 20μm 6.5μm 6.5μm
测量角度： 90o±10o 90o±5o 90o±7o 90o±7o
工作距离： 9.5mm 27mm 19.4mm 19.4mm
光 源： LED(白光) LED(白光) IR-LED(1300nm) IR-LED(1300nm)
● 软件包
数据采集软件： 操作简单，样品表面实时成像图片，自动操作
数据分析软件： 分析2D及3D表面的膜厚及形貌，并可建立评估函数
实 验 报 告： 用户可自定义样式，及用户可根据使用者的输入情况自行输入额外的信息
