产品简介：
该款表面轮廓仪用于测量物体材料的光学性能、薄膜厚度及表面形貌，尤其是在半导体及平板显示器行业中，它能对其微细模式化进行调整。K-MAC的3D形貌仪，OV-SPI500， 它使用白光扫描干涉法来进行率的非接触、非破坏式测量。高重复性及较少的测量时间使得OV-SPI500很适合于实时的过程监控，其测量结果通过一个垂直分辨率为纳米级的探头来进行3D的图形匹配并显示出来。尤其是该设备将薄膜厚度、折射率及尺寸测量于一体，这就使得OV-SPI500能应用于多种测量场合中。
产品特点：
● 使用光谱反射计的光学测量原理
● 膜厚、折射率、尺寸测量于一身
● 非接触、非破坏式测量
● 2D及3D的图形数据显示
● 能够用于实时测量
● LED光适配器
● 亚纳米级的垂直分辨率
● 能够应用于半导体、平板显示板、电子材料等行业
基本参数：
● 3D测量：
扫描范围：100μm (扩展型的扫描范围可达200μm)
垂直分辨率：0.1nm
横向分辨率：在50×透镜下，为0.2μm (像素分辨率)
可是测量面积(FOV)：940μm ×710μm (5×透镜，即0.5×套管透镜 10×干涉透镜)
晶片尺寸：4''~12"
3D CCD：8位
透镜：10×、20×、50× (套管镜头，0.5×、1×、1.5×)
● 薄膜厚度测量：
波长范围：400nm-800nm
理论分辨率：1nm
光斑尺寸：40μm (M5×)、20μm (M10×)、10μm (M20×)
测量速度：小于 2秒/点 (不移动)
测量范围：100?-35μm (取决于材料类型)
多层测量：±5? at 5000?
