产品简介：
● 基于视窗结构的软件，很容易操作
● 的深紫外光学及坚固耐用的震设计，以系统能发挥出的性能及长的正常运行时间
● 基于阵列设计的探测器系统，以快速测量
● 格，便携式及灵巧的操作台面设计
● 在很小的尺寸范围内，多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率
● 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
● 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率
● 系统配备大量的光学常数数据及数据库
● 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析
● 系统了可视化、光谱测量、、薄膜厚度测量等功能于一体
● 能够应用于不同类型、不同厚度(厚可测200mm)的基片测量
● 使用深紫外光测量的薄膜厚度可至20 ?
● 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面
● 的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量
● 各种不同的选配件可满足客户各种的应用
系统配置：
● 型号：MSP100RTM
● 探测器：2048像素的CCD阵列
● 光源：高功率的深紫外－可见光光源
● 光传送方式：光纤
● 自动的台架平台：处理的铝合金操作平台，能够在5”×3”的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序控制
● 物镜有着长焦点距离:4×，10×，15×(DUV)，50×
● 通讯接口：U的通讯接口与计算机相连
● 测量类型：反射/光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
● 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器
● 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A
● 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)
● 重量：120磅总重
● 保修：一年的整机及备件保修
基本参数：
● 波长范围：250nm到1000 nm
● 波长分辨率: 1nm
● 光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
● 基片尺寸：多可至20mm厚
● 测量厚度范围: 20? 到25 μm
● 测量时间：快2毫秒
● 度*：0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
● 重复性误差*：小于2 ?
应用领域：
● 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
● 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
● ，生物薄膜及材料领域等
● 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
● 医药及医药中间设备等
● 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
● 半导体化合物
● 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
● 非晶体，纳米材料和结晶硅
产品可选项：
● 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围
● 高功率的深紫外光?用于小斑点测量
● 可根据客户的需求来定制
● 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷
● 可选择的平台尺寸多可测量300??mm大小尺寸的样品
● 更高的波长范围的分辨率可0.1nm
● 各种滤光片可供各种的需求
● 可添加应用于荧光测量的附件
● 可添加用于拉曼应用的附件
● 可添加用于偏光应用的附件