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多路气体CVD、PECVD
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多路气体CVD、PECVD

产品价格:
15000.00
产品型号:
CVD
产品品牌:
南阳鑫宇
供应商等级:
企业未认证
经营模式:
工厂
企业名称:
南阳市鑫宇新材料科技有限公司
所属地区:
河南省南阳市
发布时间:
2019/5/17 15:35:48

0377-66666666

樊双双先生(联系我时,请说明是在维库仪器仪表网看到的,谢谢)

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南阳市鑫宇新材料科技有限公司

企业未认证营业执照已上传

经营模式:工厂

所在地:河南省 南阳市

主营产品:高温炉、马弗炉、实验电炉、真空炉、台车炉、电阻炉、气氛炉、义齿炉、碳棒炉

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  • 企业类型:制造商
  • 新旧程度:全新
  • 原产地:河南南阳
  • 控温精度:±1℃

路质子混气管式PECVD

四路质子混气管式PECVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的红心过来促进反应,因而这种CVD成为等离子体增强化学气相沉积(PECVD),内炉膛采用国内知名厂家的氧化炉陶瓷纤维可以提高设备加热效率,同事也可以延长仪器的使用寿命。

主要特点:虽环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解,离解和离化,从而大大提高了反应物的活性。因此,这些具有反应祸心个点中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。

 

PECVD法是用500w交流等离子体与60*1200、多通道精密质量流量计和高真空系统气体组成。

实验机理:辉光放等离子体重,电子密度高,电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍。

本炉子分为四大部分:开启式管式炉,等离子射频电源(50-500w),真空泵和阀门、质子流量计。

 

 

 

 

 

联系方式

南阳市鑫宇新材料科技有限公司

联系人:
樊双双先生
手机:
18403775787
传真:
0377-66666666
所在地:
河南省 南阳市
类型:
工厂
地址:
河南省南阳市卧龙区龙升工业园1号路

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QQ:2020223816 
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