- 新旧程度:全新
SCI广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。
应用领域 半导体、微电子、MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化学、生物、医药等 测量材料 半导体、介电材料、有机高分子聚合物、金属氧化物、金属钝化膜、自组装单分子层、多层膜物质和石墨烯等
1)Film Wizard 软件 : 市面上功能强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求.
1.多层厚度(1到 250 microns)
2.折射率n
3.吸收系数k
4.双折射率
5.能隙(Eg)
6.表面粗糙度和损伤
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式)
8.薄膜温度特性
9.晶元曲率和薄膜耐压性
技术参数
1.厚度测试范围: 1? to 250 microns
2. 重复性:± 0°(△)
3. 折射率:± 2*10-5
4. 光谱范围:380nm~1000nm(190nm~1700nm可选)
5. 入射角:0°(70°可选)
6. 测试速度:小于 15 s
7. 光斑直径: 小于 50 nm