| Model | M3030V | M3030A |
| 流量范围(N2) | 10sccm ~ 30000sccm | 5sccm ~ 30000sccm |
| 相应时间 | ≤2 sec | ≤2 sec |
| 精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重复 | ≤±0.25% FS | ≤±0.25% FS |
| 输入/输出信号 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
| 耐压 | ≤90 bar | ≤90 bar |
| 工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范围 | 2 ~ 100% | 2 ~ 100% |
公司重质量、秉承“发现需求、满足需求”为宗旨、以“质量至上、科技、功能卓越、服务周全”为质量方针、守信誉、服务好。 可靠，服务热情。请您有什么技术问题和产品咨询可以随时与我公司联系。我们会给予真诚的服务和支持。
