型号 | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto | ||
外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
重量 | 180KG | 250KG | 380KG | ||
电力需求 | AC220V,50~60HZ | ||||
Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch | |
X-Y轴行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch | ||
X-Y轴移动解析度 | 0.04um/0.1um | ||||
X-Y轴重复定位 | ±1um | ||||
移动速度 | ≥ 50 mm/sec | ||||
Z轴行程 | 10mm | ||||
Z轴移动解析度 | 0.1um | ||||
Z轴重复定位 | ±1um | ||||
Theta角度行程 | ±15° | ||||
Theta角度解析度 | 0.0003° | ||||
光栅尺 | 带光栅尺 | ||||
样品固定方式 | 多孔真空吸附，分区控制 | ||||
切换样品功能 | 样品台快速拉出 | ||||
结构 | 同轴高压设计，镀金，电学悬空，可作为背电使用 | ||||
针座平台 | 规格 | O型平台，多可放置8个针座 | O型平台，多可放置10个针座 | O型平台，多可放置12个针座 | |
行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降1um | ||||
控制方式 | 手动控制盒(可选择带操纵杆) | ||||
软件控制 | |||||
软件功能 | wafer map的编辑 | ||||
仪器的接入 | |||||
数据的采集和图像化显示 | |||||
数据的分析 | |||||
差异数据的标定Ink mark | |||||
自定义Bin分 | |||||
自动测试 | |||||
通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等 | |||||
大功率规格 | 配置 | 大功率kelvin样品台 | |||
大功率夹具线缆 | |||||
mult-pin 分流探针 | |||||
大功率保护模块(针座用) | |||||
保护红外光幕，人员误进入工作区，触发时interlock互锁 | |||||
大功率仪器连接模块 | |||||
测试电压 | 10KV | ||||
测试电流 | 500A(脉冲) | ||||
光学特性 | 显微镜行程 | 2*2inch | |||
显微镜行程 | 1um | ||||
放大倍数 | 20-4000X | ||||
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | ||||
点针规格 | 点针 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
漏电 | 10pA/100fA | ||||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口 | ||||
温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ | |
温控 | 温度分辨率 ： 0.01°C | ||||
加热电源 | LVDC 低压直流 | ||||
控温速率 | ±0.1°C /小时 | ||||
传感器 | Pt100 | ||||
制冷方式 | 液氮制冷 | ||||
减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 | ||||
可选附件 | chuck快速拉出装置 | ||||
显微镜倾仰装置 | |||||
激光 | |||||
探针卡夹具 | |||||
光强/波长测试接口部件 | |||||
加热台 | |||||
高低温样品台(-80~200℃) | |||||
震桌 | |||||
射频测试 | |||||
PCB板夹具 | |||||
液晶热点侦测套装 | |||||
屏蔽箱 | |||||
卡盘镀金 | |||||
运用方向 | 晶圆自动测试，功率器件自动测试 | ||||
