| 型号 | LCD-70 | LCD-55 | |
| 尺寸 | 2000mm长*1500mm宽*2000mm高 | 1500mm长*1300mm宽*1500mm高 | |
| 重量 | 约2000KG | 约1200KG | |
| 电力需求 | 220V,50~60Hz | ||
| 样品台 | 大小 | 1600mm*1000mm | 650mm*550mm |
| 样品台X-Y行程 | 样品台固定 | 样品台固定 | |
| 样品固定方式 | 自然放置 | 自然放置 | |
| 光源 | 面背光、点背光、上光源 | 面背光、点背光、上光源 | |
| 显微镜特性 | 行程 | 1600mm*1000mm*50mm | 650mm*550mm*50mm |
| CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | ||
| 目镜 | 10X目镜 | 10X目镜 | |
| 物镜 | 配置物镜：5X,10X,20X,50X、100X(选配) | 配置物镜：5X,10X,20X,50X、100X(选配) | |
| 物镜转盘 | 电动鼻轮 | 手动/电动鼻轮 | |
| 调焦 | 聚焦模式:电动 | 聚焦模式：手动或电动 | |
| 激光特性 | 波长 | 波长可选择1064/532/355/266nm波段 | 波长可选择1064/532/355/266nm波段 |
| 能量 | 输出功率2.2mJ/pulse | 输出功率2.2mJ/pulse | |
| 微加工能力 | 可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等 | 可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等 | |
| 加工 | 小可加工1*1um(配置100X镜头时) | 小可加工1*1um(配置100X镜头时) | |
| 冷却方式 | 可选择风冷激光或水冷激光 | 可选择风冷激光或水冷激光 | |
| 控制系统 | 结构 | 精密数控系统，采用高运动控制卡和日本伺服驱动系统和步进系统实现3轴联合运动，实现X-Y平台的任意曲线的运动 | 精密数控系统，采用高运动控制卡和日本伺服驱动系统和步进系统实现3轴联合运动，实现X-Y平台的任意曲线的运动 |
| 震 | 气浮震平台 | ||
| 速度 | 速度分4档可调，可以设定慢速度，速度下小移动分辨率为1μm，速度不低于150mm/s | 速度分4档可调，可以设定慢速度，速度下小移动分辨率为1μm，速度不低于150mm/s | |
| 软件功能 | 软件系统能够实现激光控制，光源控制，物镜转盘切换，电动聚焦，平台控制，图像调整，鼠标激光画框，等功能。 可实现图像点击移动，自定义轨迹，坐标储存，存储坐标定位，手动坐标定位，移动鼠标寻迹等功能。 速度可以通过软件设定，鼠标移动的距离控制。 | PLC，摇杆电机控制 | |
| 可选附件 | 手动控制盒 | ||
| 维修补偿镜头 | 维修补偿镜头 | ||
| 定制 | 定制 | ||
| 运用方向 | 70寸以内面板生产工艺不良和缺陷的，亮点、亮线、显示异常等故障 | 55寸以内面板生产工艺不良和缺陷的，亮点、亮线、显示异常等故障 |
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