DVIA-MO系列高精密主动隔振光学平台是由台面和主动隔振支撑两部分组成。
台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为热形变系数很小的430 系列高导磁镍合不锈钢，台面按照25mmX25mm 孔距均布M6 螺纹孔， 方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用先进的粘合工艺，坚固耐用。台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料，具有非常的动态和静态的刚性。
主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M， 每个支撑里面一般会有4 个DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除0.5- 10Hz 的外部振动, 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。
这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常卓越隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。
主动隔振平台技术指标：
固有频率：0.5-100Hz
自动平衡，响应时间短，平衡速度快
钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm2
表面平整度：±0.1mm /600 mm2
台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢
底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理
边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料
孔径： M6 (英制螺孔可选)
孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，外边孔距平台边缘37.5mm
螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁
阻尼隔振方式：宽带阻尼
特点：
具有非常的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率；
采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动，并做补偿；
采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm；
进口精密主动隔振光学平台；
隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等。
细节说明：
光学平台隔振性能参数：
DVIA-M系列主动隔振器参数表：
型号 | DVIA-M1000 | DVIA-M2000 | DVIA-M3000 | |
尺寸 | 隔振器(mm) | 215x215x180 | 232x232x180 | 308x308x180 |
控制器(mm) | 334x357x120 | 334x357x120 | 334x357x120 | |
负载(kg) | 1500-3500 | 1500-3500 | 1500-3500 | |
重量(kg) | 15 | 15 | 15 | |
驱动方式 | 电机驱动 | |||
隔振自由度 | 6个自由度 | |||
隔振效率 | 95%-99%at 10Hz | |||
回复时间 | <0.5Sec | |||
驱动器推力 | 竖直>20N,水平>40N | |||
输入电压 | AC 85-264/50-60Hz | |||
功率消耗 | 峰值功率110W,稳定功率50W | |||
空气压力 | 大于0.5Mpa | |||
环境要求 | 温度℃ | 5-50°C | ||
湿度 | 20%-90% | |||
主动隔振频率范围 | 0.5-100Hz | |||
初始水平调整 | 自动调整 | |||
系统配置 | 4个隔振器包含控制箱 |
