质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计库号：M405886
仪器简介：
数字式气体质量流量计/流量控制器，高，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm
橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计主要特点：
1.数字化，橡胶密封 2.高，快响应 3.极低零漂及温漂 4.良好的兼容性
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计技术参数：
产品类型：高型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品：±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复：±0.2% FS 线性±0.5% F.S. 响应时间≤1sec 工作温度范围：(5~45)°C
耐压：3MPa 密封材料：氟橡胶Viton
输入输出信号：(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源：±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型：常开(流量量程≤30slm)或常闭
温度系数
零点: ≤±0.05% F.S/℃；
调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM
调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM
零点飘移指标：＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接：Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）
漏率：1×10-10 Pa?m3 / sec He
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计
标准接头形式
双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化学成分：- 无 -
表面粗糙度：25μinch
抗电磁干扰CE
重量：1Kg
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计
质量流量控制器的英文名字叫"MASS FLOW CONTROLLER"(简称MFC)，它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
用质量流量控制器途与特点
质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点:高，重复性好。
质量流量控制器 型号:QX05-CS200A高数字式气体质量流量计
